d33是压电资料的中心参数,表征资料在机械应力下发生电荷的才能。薄膜资料因厚度薄、易脆等特性,传统触摸式测验办法(如机械夹具法)存在以下限制:
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激光测振仪经过非触摸式激光干与技能,丈量薄膜外表细小位移,适配薄膜d33测验需求:
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