高速外延片PL谱扫描成像仪使用线激光器激起荧光光谱，使用光谱仪及面阵EMCCD对线荧光收集和光谱分析。这种荧光光谱收集方法较传统点扫描方法，收集速度快，可在短时间内取得高密度点的光谱信息，即1分钟内完成4万点的扫描收集,收集速度进步20倍，波长丈量重复精度优于±0.5nm，光强度稳定性优于±0.75%。
高速外延片PL谱扫描成像仪使用线激光器激起荧光光谱，使用光谱仪及面阵EMCCD对线荧光收集和光谱分析。这种荧光光谱收集方法较传统点扫描方法，收集速度快，可在短时间内取得高密度点的光谱信息，即1分钟内完成4万点的扫描收集,收集速度进步20倍，波长丈量重复精度优于±0.5nm，光强度稳定性优于±0.75%。
该设备大多数都用在LED半导体晶片的荧光光谱检测及太阳能晶片的检测，其间LED半导体晶片荧光光谱检测的商场年需求量约50台，商场销售额约为4000万元人民币，针对太阳能晶片荧光光谱丈量范畴，现在己有设备只能测得荧光光谱强度，并不能取得荧光光谱谱线形状，及光谱波长等细信息，该设备可快速取得太阳能晶片的荧光光强及光谱信息，具有共同的技术优势，估计太阳能晶片的商场年需求量约在20台左右，商场销售额约为2000万元人民币。
知识产权及项目获奖状况：该产品取得3项发明专利：半导体晶片的高速荧光光谱检测设备、半导体晶片的托起设备、半导体晶片的检测设备。
该项目取得北京市科委“2014年首都科技条件渠道科学仪器开发培养项目”的专项资金赞助。
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