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本有用新型专利技能供给一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，包含管状主体，该主体的下端装置有中心吸盘，上端装置有把手，该主体上还设有泄压孔和真空管接口，该主体中部装置有三个弹性管，该三个弹性管的结尾别离装置一辅佐吸盘。本有用新型专利技能通过四个吸盘与晶圆触摸，汲取晶圆时，晶圆不会产生形变，下降了晶圆破碎份额，削减了晶圆丢失；通过简略调整能够适用于不同直径的晶圆，便利有用。（*该技能在2023年维护过期，可自在运用*）
【专利摘要】本技能供给一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，包含管状主体，该主体的下端装置有中心吸盘，上端装置有把手，该主体上还设有泄压孔和真空管接口，该主体中部装置有三个弹性管，该三个弹性管的结尾别离装置一辅佐吸盘。本技能通过四个吸盘与晶圆触摸，汲取晶圆时，晶圆不会产生形变，下降了晶圆破碎份额，削减了晶圆丢失；通过简略调整能够适用于不同直径的晶圆，便利有用。【专利阐明】一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器
本技能触及一种手动取片器，特别触及一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器。
在晶圆工艺流程中，为得到平坦标明上进行研磨加工，在加工后从磨盘上取出晶圆多是人工操作，手持一个取片器吸住晶圆后取出。传统的取片器遍及是为小尺度晶圆规划的，在汲取大直径晶圆时，晶圆会受力不均，产生形变。别的，因为晶圆为脆性资料，选用传统的取片器汲取大直径晶圆时极有可能会呈现破碎的状况，严重影响加工成品率。
本技能的意图是供给一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，以下降晶圆破碎，削减晶圆丢失，一起通过简略调整能够适用于不同直径的晶圆。为完成上述意图，本技能选用以下技能计划:一种适用于大直径
一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，其特征是，包含管状主体，该主体的下端装置有中心吸盘，上端装置有把手，该主体上还设有泄压孔和真空管接口，该主体中部装置有三个弹性管，该三个弹性管的结尾别离装置一辅佐吸盘。
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